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Toute reproduction sans autorisation du Centre français d’exploitation du droit de copie est strictement interdite. − © Techniques de l’Ingénieur, traité Génie mécanique Doc. BM 4 273 − 1 P O U R E N S A V O I R P L U S Pompes à transfert de gaz par Jean LECLERC Ingénieur de l’École supérieure de chimie industrielle de Lyon Docteur 3e cycle chimie minérale et structurale Consultant Bibliographie Dans les Techniques de l’Ingénieur [1] LECLERC (J.). – Production du vide BM 4 270. Traité Génie mécanique (1999). [2] DESTOOP (T .). – Compresseurs volumétri- ques B 4 220. Traité Génie mécanique (1989). [3] LECLERC (J.). – Nature et qualité du vide. Contamination BM 4 040. Traité Génie méca- nique (1997). [4] LECLERC (J.). – Pompes à transfert de gaz. Pompes volumétriques BM 4 271. Traité Génie mécanique (2000). [5] PAULON (J.). – Éjecteurs B 4 250. Traité Génie mécanique (1993). [6] ROMMEL (G.). – Gaz à très basse pression. Technique du vide. Généralités B 4 020. Traité Génie mécanique (1984). [7] BOISSIN (J.C.), GISTAU (G.) et coll. – Cryogé- nie. Mise en œuvre des basses températures B 2 382. Traité Génie énergétique (1993). [8] ROMMEL (G.). – Gaz à très basse pression. Technique du vide. Formules et tables B 4 110. Traité Génie mécanique (1985). Autres références [9] FARAGALLAH (W.). – Flüssegkeitsring pum- pen. Eingenverlag (1985). [10] Cours de la Société Française du Vide (SFV). [11] Le vide. Les couches minces. Journées euro- péennes de technologie du vide. Supplément au n° 252, p. 56 (1990). [12] HO (T .L.). – Physics 2 (1932). [13] KRUGER (C.H.) et SHAPIRO (A.H.). – 7e Symposium national "on Vacuum Techno- logy Transactions". C.R. Meissner éd. Perga- mon Press (1961). [14] HOFFMAN (D.M.). – Handbook of vacuum science and technology. Chap. 2.3, Academic Press (1997). Principaux ouvrages en technique du vide En anglais ROTH (A.). – Vacuum technology. 3e éd. North Hol- land (1990). DUSHMANN (S.). – Vacuum technique. J. Wiley N.Y . (1949). HABLANIAN (M.H.). – High vacuum technology. A practical guide. M. Dekker N.Y . (1990). DUVAL. – High vacuum production in the microe- lectronics industry. Elsevier (1988). BERMAN (A.). – Vacuum engineering. Calculations, formulas and solved exercices. Academic Press Inc. (1992). HARRIS (N.). – Modern vacuum practice. Mc Graw Hill (1989). O’HANLON (John F .). – A user’s Guide to vacuum technology. Wiley and Sons (1980). HOLKEBOER, JONES, PAGANO et SANTELER. – Vacuum technology and space simulation. A.I.P . (1993). WELCH (K.). – Capture pumping technology. Perga- mon Press (1991). REDHEAD (P .A.) et HOBSON (J.P .). – Physical basis of ultra high vacuum. E.V. Kornelsen - A.I.P . (1993). HAEFER (R.A.). – Cryo-vacuum technique. Claren- don Press, Oxford (1989). VAN ATTA (C.M.). – Vacuum science and enginee- ring. McGraw-Hill Book Co (1965). STEINHERZ (H.A.). – Handbook of high vacuum engineering. Reinhold Publishing Corp. (1963). RYANS (J.L.) et ROPER (D.L.). – Process vacuum system design and operation. McGraw-Hill Publishing Co. (1986). FARAGALLAH (W.H.). – Flüssigkeitsringpumpen. Eigenverlag (1985). CHAMBERS (A.), FITCH (R.K.) et HALLIDAY (B.S.). – Basic vacuum technology. Inst. of Phys. Publ. Bristol (1998). WUTZ (M.), ADAM (H.) et WALCHER (W.). – Theory and practice of vacuum technology. Friedr. Vieweg and Sohn (1989). HOFFMAN (D.M.). – Handbook of vacuum science and technology. Academic Press (1997). LAFFERTY. – Foundations of vacuum science. J. Wiley & Sons Ltd (1997). En français HENRY (R.P .). – Cours de science et technique du vide. SFV (1965). DUVAL (P .). – Le vide, ses applications et son obten- tion. SFV (1989). DUVAL (P .). – Le vide. Que sais-je ? RICHARDT (A.) et DURAND (A.M.). – La pratique du vide et les dépôts de couches minces. Ed In Fine (1995). RICHARDT (A.) et DURAND (A.M.). – Le vide : les couches minces, les couches dures. Ed In Fine (1994). Revues • Science, technique et application, revue de la Société Française du Vide (SFV) [4 numéros par an plus des numéros spéciaux (journées d’étude, colloques, réunions diverses)]. • Journal of Vacuum Science and Technology, revue de l’American Vacuum Society (6 numéros par an). • Vacuum, revue de British Vacuum Council. • Vakuum Technik, revue de DVG (Deutsche Vakuum Gesellschaft). Autres sources documentaires • Catalogues des principaux constructeurs (Alcatel Vacuum Technology, Pfeiffer, Leybold, Varian, BOC Edwards). • Centres de documentation des grands orga- nismes (CNRS, CEA, ESA). • Cours professés par la SFV et certains con- sultants. Normalisation Normes citées dans les articles [BM 4 271] et [BM 4 272]. Normes Pneurop 6602 Conditions de réception des pompes à vide. Partie 1. Pompes rotatives à joint d’huile et pompes Roots. Équivalente à ISO 1607/1 et ISO 1607/2. Cette norme peut être consultée au Syndicat des constructeurs. Association Française de Normalisation (AFNOR) NF X 10-501 5-76 Vocabulaire. Pompes à vide. XP X 10-513 12-96 Technologie du vide. Pompes à membranes. Spéciﬁca- tions techniques et règles de réception. POMPES À TRANSFERT DE GAZ ___________________________________________________________________________________________________________ P O U R E N S A V O I R P L U S Toute reproduction sans autorisation du Centre français d’exploitation du droit de copie Doc. BM 4 273 − 2 est strictement interdite. − © Techniques de l’Ingénieur, traité Génie mécanique NF EN 1012-2 10-96 Compresseurs et pompes à vide. Prescriptions de sécu- rité. Partie 2 : pompes à vide. International Organization for Standardization (ISO) ISO 1607-1 1993 Pompes primaires volumétriques à vide. Mesurage des caractéristiques fonctionnelles. Partie 1 : Mesurage du débit volume. ISO 1607-2 1989 Pompes primaires volumétriques à vide. Mesurage des caractéristiques fonctionnelles. Partie 2 : Mesurage de la pression limite. Deutsch Institut für Normung DIN 28432 Acceptance speciﬁcations for diaphragm pumps. Organismes G Syndicat des constructeurs de compresseurs, turbocompresseurs et pompes à vide G Union Internationale des Sciences T echniques et applications du vide (regroupe 46 sociétés nationales du vide dont la SFV). Cet organisme organise tous les 3 ans dans des lieux différents un congrès international regroupant entre 1 200 et 1 500 personnes. À cette occasion, des comptes rendus détaillés sont publiées. Parmi les sociétés les plus importantes nous avons : — la Société Française du Vide ; — l’Américan Vacuum Society qui organise tous les ans aux États-Unis une conférence et qui publie ses revues : journal of Vacuum Science and Tech- nology (6 mm eros par an) ; — le British Vacuum Council ; — le Deutsche Vakuum Gesellschaft. Constructeurs. Fournisseurs Les principaux constructeurs et fournisseurs de pompes à vide sont répertoriés dans les tableaux A et B. Tableau A – Principaux constructeurs et fournisseurs de pompes à vide volumétriques Société Pompe à pistons alternatifs Pompe à membranes Pompe à plateau rotulant Pompe à anneau de gaz Pompe à anneau liquide Pompe à palettes sèches Pompe à palettes à joint d’huile Pompe multipalette à huile Pompe à pistons oscillants Pompe Roots Pompe Roots multiétagés Pompe à vis Pompe à spirales Pompe à becs Acal (Robinair) X Aerzen France X X X Alcatel X X X B & O X X Barthel S.A. X Becker X X X BOC Edwards X X X X Busch France X X X X X CVEV X X X Centra X X Continental Industrie X Dürr Technik France X Ebara PM France X X Enerfluid (Gast) X X X Fischer Bioblock Scientific (Vacuubrand) X X GEFI X X X Gec Alsthom ACB X Hermetic Lederle X Toute reproduction sans autorisation du Centre français d’exploitation du droit de copie est strictement interdite. − © Techniques de l’Ingénieur, traité Génie mécanique Doc. BM 4 273 − 3 __________________________________________________________________________________________________________ POMPES À TRANSFERT DE GAZ P O U R E N S A V O I R P L U S Hibon Stokes Vacuum X X X X Iwaki X KNF Neuberger X X Kaeser X X Leybold X X X X X X Mil’s Pompes à vide X X X MPRI X Neyco (Kinney) X Normetex X Novair X X Pfeiffer Vacuum France X X X Piel X Piot et Tirouflet S.A. X Rietschle X X X X X X SRTI System X X Sercom (ASF Thomas) X X Siemens X X X Sogrami X Sterling SIHI X Sullair X Sulzer Industries France S.A. X Tepro IVP X Transflex X X Varian X X X X T ableau A – Principaux constructeurs et fournisseurs de pompes à vide volumétriques (suite) Société Pompe à pistons alternatifs Pompe à membranes Pompe à plateau rotulant Pompe à anneau de gaz Pompe à anneau liquide Pompe à palettes sèches Pompe à palettes à joint d’huile Pompe multipalette à huile Pompe à pistons oscillants Pompe Roots Pompe Roots multiétagés Pompe à vis Pompe à spirales Pompe à becs POMPES À TRANSFERT DE GAZ ___________________________________________________________________________________________________________ P O U R E N S A V O I R P L U S Toute reproduction sans autorisation du Centre français d’exploitation du droit de copie Doc. BM 4 273 − 4 est strictement interdite. − © Techniques de l’Ingénieur, traité Génie mécanique Tableau B – Principaux constructeurs et fournisseurs de pompes cinétiques Société Éjecteurs Pompes à diffusion Pompes uploads/Industriel/ pompes-a-transfert-de-gaz.pdf