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Cours lithographie 1 Nanotechnologie et Auto-assemblage Nanotechnologie Qu est ce que c est D ou viennent la nanotechnologie et l auto-assemblage Dé ?nition de la lithographie Les grandes classes de lithographie Les méthodes de transfert Lithographie opti

Nanotechnologie et Auto-assemblage Nanotechnologie Qu est ce que c est D ou viennent la nanotechnologie et l auto-assemblage Dé ?nition de la lithographie Les grandes classes de lithographie Les méthodes de transfert Lithographie optique CNanotechnologie et Auto-assemblage Lithographie électronique EBL Faisceaux d ions focalisés FIB Lithographies douces Nanomoulage New generation lithography NGL EUV X-Ray Par projection électronique EPL Par projection ionique IPL Auto-assemblage C Nanotechnologie ?Nanotechnologie ? Une méthode pour créer des structures utiles dans un matériau avec des dimensions nm nm - m ?Microfabrication ? Créer des structures nm ?Nanofabrication ? Créer des structures nm ?Auto-assemblage ? Croissance à l équilibre thermodynamique de structures nm CNanotechnologie et Auto-assemblage Trois approches - Du massif au nanomètre Top-Down ? Issue de la microélectronique Du nanomètre au réel Bottom-Up ? Issue de la biologie nanoscience Mixte Nano-inside ? Du nano dans le micro CNanotechnologie et Auto-assemblage Top-Down Techniques issues de la microélectronique Lithographie optique Lithographie électronique Méthodes de transfert CNanotechnologie et Auto-assemblage Bottom-Up Techniques issues du vivant champ proche Manipulation d atome nanoscience Auto- assemblage CMicro Nanostructure Examples Textured Surfaces Qm Micromechanical Devices in silicon Integrated uidics and planar waveguide optics nm Qm Holes in PMMA Chemically patterned surfaces Qm Qm CNanotechnologie et Auto-assemblage Arranger les atomes et les molécules un par un C Pourquoi faire Créer de nouvelles propriétés Dupliquer un dispositif -transistor Pentium cm Atteindre une longueur caractéristique con ?nement quantique MQW Augmenter le rapport surface volume Nanomagnétisme CPourquoi faire Dupliquer un dispositif -transistor Pentium cm C Pourquoi faire Atteindre une longueur caractéristique con ?nement quantique MQW Photonic band gap ? ? C Pourquoi faire Augmenter le rapport surface volume Nanomagnétisme C Pourquoi faire Nano-Inside mémoire à nanocristaux CD o? vient la nanotechnologie Issue de la microélectronique La microélectronique Réduire les dimensions des composants Augmenter le taux d intégration Nanotechnologie pour fabriquer et étudier des objets nanométriques CLes grandes classes Nanotechnologies Les grandes classes de lithographie - Parallèles Sérielles Photonique Particules chargées Atom Probe Écriture indirecte Écriture directe CLes grandes classes Écriture parallèle Plusieurs motifs sont fabriqués en même temps Lithographie photonique UV DUV EUV X Nanomoulage EPL par projection électronique IPL par projection ionique Auto-assemblage CLes grandes classes Écriture séquentielles Les motifs sont fabriquées l un après l autre Lithographie électronique Faisceaux d ions focalisés STM Atom Probe CLes grandes classes cm jour STM Séquentielles cm heure cm sec EBL FIB nanomoulage Parallèle s X-ray DUV nm nm nm Vitesse d écriture industrielle cm s C Les grandes classes Ecriture parallèle Vitesse élevée Résolution modérée nm Ecriture séquentielle Vitesse faible Haute résolution nm CGénérations technologiques Années Génération Technolo nm Dimension ? ? nm DRAM bits G G G G G C De la micro à la nanolithographie Les principes de la lithographie Méthodes de transfert La Photolithographie photonique DUV L extrême UV EUV Lithographie X La lithographie électronique CLes principes de la Lithographie La lithographie est un procédé dans lequel l image des motifs formant un dispositif sont transférés dans le matériau Modulateur Insolation de la résine à partir