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Université Batna 2 Nom & Prénom :…………………………….. Faculté de Technologie Départeme

Université Batna 2 Nom & Prénom :…………………………….. Faculté de Technologie Département d’Electronique Jeudi 29/04/2021 1ère année Master Microélectronique S1 S1-2020/2021 Contrôle à distance TVSB Technologie du Vide et Salle Blanche Q1-(2pts) : Citer et expliquer 2 applications du vide touchant la microélectronique Q2-(2pts) : Quel est le type vide pour ces applications Q3-(2pts) : Donner la Définition d’une salle blanche Q4-(2pts) : Donner et expliquer les types des salles blanches Q5-(2pts) : Donner les bases de classification de la norme Européenne EN ISO 14644 Q6-(2pts) : Citer les principales étapes de purification de l’eau Q7- (8pts) : L’oxydation s’effectue en salle blanche, sous vide en se basant sur des abaques: a) Quelle est la différence entre oxydation sèche et Oxydation humide ? b) A partir des abaques d’oxydation du Si, quels sont les paramètres d’oxydation qu’on peut déduire et calculer la vitesse d’oxydation pour toutes les températures à 10 h Bon courage et Bonne chance. Les réponses issues de Wikipédia et de Google ne seront pas comptabilisées Deux copies d’examen identiques seront sanctionnées par un zéro Durée : 1h de 14h à 15h uploads/s1/ controle-a-distance-tvsb-1.pdf