UNIVERSITE DE LIMOGES ECOLE DOCTORALE Science – Technologie – Santé FACULTE de

UNIVERSITE DE LIMOGES ECOLE DOCTORALE Science – Technologie – Santé FACULTE de des Sciences et Techniques Année : 2004 Thèse N° 39-2004 Thèse Pour obtenir le grade de DOCTEUR DE L’UNIVERSITE DE LIMOGES Discipline / Spécialité : Electronique des hautes fréquences et optoélectroniques Présentée et soutenue par Sandrine KARAM Le 26 novembre 2004 …… Thèse dirigée par Annie Bessaudou JURY : André LEBLE Université du Mans Rapporteur Jean-Paul RIVIERE Université de Poitiers Rapporteur Annie BESSAUDOU Université de Limoges Examinatrice Claire DARRAUD Université de Limoges Examinatrice Olivier TANTOT Université de Limoges Examinateur Pascal TRISTANT Université de Limoges Examinateur François LOUVET E.N.S.C.I. de Limoges Invité Application de la méthodologie des plans d’expériences et de l’analyse de données à l’optimisation des processus de dépôt A ma famille, mes amis et à l’ouverture d’esprit…                                                                                                        ! "                      #                                    "                "            "              "         $          "         "      %     &    '       "                      • #            •          • #  "          • (              • )%        •            Abstract Experimental designs and data analyses for the optimization of deposition processes.                                                                                                                                                                              Keywords :  !     "   #                     Remerciements                                                      !" #        $    $ % &'%() (   *     +    *      +    $    ,      *     "#      '  -       .!   *        ,        +    *   -'/    .   -   +  .!" #         0      +  , +1       "  #/      +          %  '&'    # 23   4' '5 5+       /   5 *   "        )% %()5   %6 53   %6    +   * 7" #                  7          /   -+  .5 8     /    5    5             *     $ " #               +   5 +  / /    +     *          " (      $    9  &  &     +      *     *  $ *    *          " #      $       $ :   ,  -.     + 5         !      +             57    3    5 $    ;!  -  ,  ;.59 +     , !        ,    5&  ,  ;!        7   5<    ,  !    ,  5 3    % & =    !   $     5         !    # # *   +1 > +  5&,    ,  /   59      !   ?   599  @ -   /.!5 4  , *  !               /!       A  54  ,  * AA!     +     5     ,      ,  5  ,  %     -       .!          7    5  $        !5 3  5 57    + ,      ;!   $        ,     1 " #       $              +    % , 5           B *0C  5   ,  5 ,  + 5 *        +          ,  5    5 uploads/Litterature/ plan-d-x27-experience.pdf

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littérature partie données d’expériences  l’analyse
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