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Incident rasente P Ecole Nationale Polytechnique Maurice Audin Département de Physique- Chimie Travaille pratique du module Technologie des couches mince La di ?raction des rayons X en incidence rasante ? Réalisé par HAID Idir CSommaire I Partie i Introdu

P Ecole Nationale Polytechnique Maurice Audin Département de Physique- Chimie Travaille pratique du module Technologie des couches mince La di ?raction des rayons X en incidence rasante ? Réalisé par HAID Idir CSommaire I Partie i Introduction ii Dé ?nition iii Principe iv Le but de la DRX sous incidente rasente II Partie i Mode d ? emploi ii Conclusion CI Partie i Introduction Lors de l'étude de couches de faibles épaisseurs le volume di ?ractant n'est plus su ?sant l'intensité di ?ractée est très faible Il est alors di ?cile d'obtenir su ?samment d'informations pour étudier la texture de ces couches C ? est pour cela les chercheurs ont développé une nouvelle technique qui leurs permet d'obtenir su ?samment d'informations pour étudier la texture de ces couches de faibles épaisseurs ii Dé ?nition La di ?raction des rayons X en incidence rasante est une technique qui permet de déterminer la distribution en profondeur des di ?érentes phases cristallines composant la surface d'un solide de faible épaisseur et ceci en faisant varier la pénétration des rayons X avec l'angle d'incidence Les rayons X en incidence rasante Di ?ractomètre à géométrie de Bragg- Brentano iii Principe Allongement du chemin parcouru par le faisceau incident dans l'échantillon ce qui conduise à une augmentation du volume di ?ractant L'angle en incidence rasante est compris entre un dixième de degré et quelques degrés Dans ces conditions la pénétration du faisceau est faible allant de quelques dizaines à quelques milliers d'Angstr? ms et dépend du matériau et de la longueur d'onde des rayons X Chaque signal produit lors de l ? impact du faisceau incident Fourni des informations sur les propriétés structurales de la couche mince iv Le but de la DRX sous incidente rasente Identi ?cation des phases Mesure de la cristallinité Evaluation de la taille des grains Evaluation des contraintes résiduelles Adopte pour les faibles épaisseurs de l'échantillon ou pour une couche mince déposée sur un substrat CII Partie i Mode d ? emploi On lance le dispositif on branche les contacts et on allume l ? interrupteur pour rétablir le contact avec l ? ordinateur On lance le logiciel moteur ?et on se rassure qu ? il fonction bien en véri ?ant le LED qui clignote ? On enlève la beam stop annuler les obstacles et on tourne la plaque en plomb-latin qui se trouve au bas de détecteur de pour pouvoir mesuré I complètement C Après avoir met le w à on place l ? échantillon le plus bas possible dans le but d ? être sûr que l ? échantillon ne masque pas le faisceau direct pour la ere mesure Ouvrir le logiciel d ? acquisition sur le bureau on Fait une acquisition de secondes du faisceau direct On position la droite sur le milieu de pic qu ? on a obtenu Apres avoir enlevé l ? autoshutter on ouvre l'outil Scantime en cliquant dessus Une fenêtre s'ouvre dans laquelle le nombre de coups reçus par le détecteur dans un