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Resumes 2002 Génération des plasmas froids et applications Jean-Pierre B ?UF CPAT Toulouse Après une brève introduction sur les plasmas froids et sur leur situation dans l'ensemble des plasmas naturels ou de laboratoire l'exposé sera centré sur les propri

Génération des plasmas froids et applications Jean-Pierre B ?UF CPAT Toulouse Après une brève introduction sur les plasmas froids et sur leur situation dans l'ensemble des plasmas naturels ou de laboratoire l'exposé sera centré sur les propriétés des plasmas hors-équilibre et sur les mécanismes de dissipation de l'énergie électrique dans ces plasmas dans le contexte des di ?érentes applications La génération d'un plasma hors- équilibre est principalement e ?ectuée par les électrons même si les ions peuvent dans certains cas consommer une partie non négligeable de l'énergie électrique totale dissipée dans le milieu Il existe une grande variété de méthodes de chau ?age des électrons dans un plasma hors-équilibre à l'aide de source continues radiofréquence microonde à con ?nement magnétique etc C'est cette variété des méthodes de génération du plasma et de dépôt de l'énergie électronique dans le milieu qui confère aux plasmas hors-équilibre une grande richesse à la fois au niveau de la physique et des applications Cette richesse rend l'étude et la ma? trise des plasmas hors- équilibre di ?cile pour les industriels car il n'est pas question d'appliquer des recettes ni même des codes de calcul très généraux c'est pourquoi l'apport des laboratoires de recherche compétents dans ce domaine est important et recherché par les industriels Même si la physique des plasmas froids est un domaine bien connu qualitativement l'énergétique des plasmas hors-équilibre est un thème de recherche actuel notamment parce que les méthodes numériques les moyens de calcul et des méthodes de diagnostics sophistiquées permettent maintenant une optimisation ?ne de ces systèmes L'objectif de l'exposé sera d'illustrer la variété des méthodes de dépôt d'énergie dans un plasma hors-équilbre en montrant comment telle ou telle méthode de génération du plasma est plus adaptée à telle application Le choix d'une méthode d'excitation du plasma dépend des contraintes imposées par l'application par exemple optimisation de la vitesse d'un procédé plasma traitement de surface du rendement e ?cacité d'une source de photons de la forme de la distribution électronique pour favoriser la création de certains états excités ou radicaux de la forme de la distribution ionique gravure source d'ions propulsion Ceci sera illustré à l'aide d'exemples types qui permettront de décrire rapidement les systèmes et réacteurs plasma utilisés dans les applications actuelles réacteurs à couplage capacitif ou inductif systèmes microonde systèmes à con ?nement magnétique magnétrons source d'ions à e ?et Hall CLes plasmas thermiques Alain GLEIZES CPAT Toulouse Les plasmas thermiques sont habituellement produits par des arcs électriques à la pression atmosphérique mais peuvent aussi être obtenus par des décharges à excitation radio-fréquence ou par un claquage laser dans un gaz à pression atmosphérique Ces plasmas sont des gaz partiellement ou fortement ionisés dans lesquels toutes les particules molécules atomes ions électrons ont à peu près la même énergie cinétique moyenne Pour cette raison on peut considérer qu'il existe un équilibre thermique ce qui permet de dé ?nir une température dont la valeur dans les régions les plus chaudes peut atteindre K à cette température le plasma est quasiment