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Dura 0299000505z th Année THESE présentée devant L ? UNIVERSITE AIX-MARSEILLE Par Julien DURA Ingénieur de l ? Institut National Polytechnique de Grenoble en vue d ? obtenir LE GRADE DE DOCTEUR Ecole doctorale Mécanique Physique Micro- et Nano-électroniqu

Année THESE présentée devant L ? UNIVERSITE AIX-MARSEILLE Par Julien DURA Ingénieur de l ? Institut National Polytechnique de Grenoble en vue d ? obtenir LE GRADE DE DOCTEUR Ecole doctorale Mécanique Physique Micro- et Nano-électronique Spécialité Micro- et Nano-électronique Etude et modélisation des phénomènes physiques émergents pour la simulation de dispositifs électroniques à base de nano ?ls de silicium Directeur de thèse Daniela MUNTEANU Co-encadrant François TRIOZON Soutenue le octobre devant la commission d ? examen Président Rapporteur Rapporteur Examinateur Examinateur Directeur de thèse Co-encadrant M Ian O ? Connor M Arnaud Bournel M Thomas Zimmer M Hervé Jaouen M Jean-Luc Autran Mme Daniela Munteanu M François Triozon Professeur Ecole centrale de Lyon Professeur Université Paris Sud Professeur Université de Bordeaux Ingénieur STMicroelectronics Crolles Professeur Université de Provence Directrice de recherche CNRS Ingénieur CEA-LETI Thèse préparée au Laboratoire Electronique et des Technologies de l ? Information CEA-LETI MINATEC et à l ? Institut Matériaux Microélectronique Nanosciences de Provence IM NP-CNRS C CRemerciements Après un investissement professionnel et personnel de près de mois voilà que ma thèse se termine La rédaction du manuscrit est donc le moment idéal de remercier toutes les personnes qui ont été impliquées de prés ou de loin à ce travail Vu le nombre de personnes croisées au sein des deux organismes qui ont accepté d ? encadrer mes travaux le CEA-LETI de Grenoble et l ? IM NP de Marseille cette liste sera loin d ? être exhaustive Si toutefois votre nom a été malencontreusement oublié n ? hésitez pas à le rajouter sur votre propre version aucun droit d ? auteur n ? est appliqué En tout premier lieu je tenais à remercier l ? ensemble de mon jury de soutenance qui a accepté d ? évaluer mon travail Parmi les membres extérieurs du jury je remercie chaleureusement le président du jury Mr Ian O ? connor professeur à l ? école centrale de Lyon Ensuite je remercie les deux rapporteurs qui m ? ont autorisé à soutenir ma thèse messieurs Arnaud Bournel professeur à l ? université Paris-Sud et Thomas Zimmer professeur à l ? université de Bordeaux En ?n un grand merci à Hervé Jaouen de la société STmicroelectronics examinateur de mon travail qui a su apporter sa vision industrielle Ensuite comment ne pas remercier les personnes qui m ? ont encadrées au quotidien et sans qui je n ? aurais certainement pas atteint les objectifs initialement ?xés Un grand merci à Mme Daniela Munteanu directrice de recherche au CNRS pour m ? avoir dirigé dans ma recherche conseillé et soutenu durant ces trois années de présence au sein de l ? IM NP Au sein du CEA-LETI j ? ai eu le privilège d ? avoir été encadré par Mr François Triozon ingénieur de recherche qui a su mettre à mon niveau toutes ces connaissances Si j ? ai pu acquérir qu ? une in ?me partie de son savoir-faire le contrat est largement rempli En ?n je remercie le dernier